因素分析法的步骤是：①确定分析对象，并计算出实际与目标数的差异；②以目标数为基础，将各因素的目标数相乘，作为分析替代的基数；③将各个因素的实际数按照上面的排列顺序进行替换计算，并将替换后的实际数保留下来；④确定该指标是由哪几个因素组成的，并按其相互关系进行排序；⑤各个因素的影响程度之和，应与分析对象的总差异相等；⑥将每次替换计算所得的结果，与前一次的计算结果相比较，两者的差异即为该因素对成本的影响程度。